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Rack de gás especial
Série VGR

• Fornecimento seguro contínuo e ininterrupto de gases a granel de grau-eletrônico.
• Funções opcionais de ventilação e purga, com alívio de pressão de segurança.
• Conjunto soldado para sala limpa Classe 100.
• Controle PLC opcional com interface de comunicação.que pode ser acessado pelo sistema de plataforma de monitoramento inteligente.
• Alarme de alta pressão/baixa pressão com sinais sonoros e visuais, capaz de desligamento de emergência.
• Display touchscreen para pressão do cilindro e outros dados.
• Tipo: rack de controle de gás especial
• Material: SS 316L para válvulas e componentes de tubulação
• Gases aplicáveis: gases inertes (Ne, Kr, Ar, He etc.)
• Método de fornecimento de gás: cilindro de gás
• Fonte de alimentação: 110 ~ 240 VCA
• Configurações: Cilindro-único, cilindro-duplo

Gabinete de gás especial
Série VGC

• Tipo: Gabinete de gás especial
• Material: SS 316L para válvulas e componentes de tubulação
• Gases aplicáveis: gases inflamáveis/auto{0}}inflamáveis, gases corrosivos, gases tóxicos (por exemplo, SiH4, HCL)
• Fonte de alimentação: 110 ~ 240 Vca
• Gabinete: aço soldado-resistente à corrosão
• Janela de vidro: fechamento-automático
• Tubo de escape: tubo de escape-montado na parte superior
• Aplicações do Produto: Universidades/Laboratórios de Pesquisa; Fabricação Industrial; Energia Solar Fotovoltaica; Farmacêutica e Biotecnologia; Fabricação de circuitos integrados de semicondutores
• Padrões de Design: Em conformidade com os padrões SEMI S2; Cumpre os códigos internacionais de segurança contra incêndio em edifícios; Pressão máxima de trabalho: 110% da pressão de teste de prova

Conjuntos de bastão de gás

Série VUP

• Bastão de gás de pureza ultra-alta para todos os sistemas de distribuição de gás

100TG: Menor ou igual a 30 slpm entrega 1/4"VFS

200TG: Menor ou igual a 300 slpm entrega 3/8"VFS

300TG: Menor ou igual a 600 slpm entrega 1/2"VFS

• O produto é fabricado em conformidade com a especificação do processo VS001A
• Alta precisão de controle
• Todas as conexões soldadas ou VFS
• Opção de válvula de diafragma manual ou pneumática
• 100% testado contra-vazamento-de hélio
• Pressão de entrada P1: 300 psig (20bar)
• Pressão de saída P2: Vac a 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
• Materiais da válvula diafragma: corpo 316L; Sede de válvula PCTFE; Diafragma Elgiloy®
• Materiais do regulador: refusão secundária do corpo 316L/316L; Sede de válvula PCTFE; Diafragma Hastelloy®
• Taxa de vazamento: (para a atmosfera) 1x10^-9 mbar I/s He;

(via assento) 1x10^-8 mbar I/s H

Painéis de controle de pressão

Série VUP-1U

• Painéis de controle de pressão (tipo lado único)
• Regulador de estágio único série VSR-100UBS/UCS
• Válvulas de diafragma de ventilação da série VDV33UBS
• Válvulas de diafragma de processo de entrada série VDV33UBS
• Conexões de vedação facial VFS{0}}soldadas orbitais
• Projeto modular
• Adequado para pressão de entrada de até 3500 psig (250bar)
• Fácil instalação em gabinete de segurança para cilindros de gás
• 100% de vazamento de hélio testado
• Pressão de entrada P1: máx.3500 psig (250bar)
• Pressão de saída P2: Vac a 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 bar)
• Acabamento de superfície: 10uin. Ra (25uin. Ra opcional)
• Entradas e saídas: encaixe VFS de 1/4"
• Faixa de temperatura: -40F a +160℉ (-40 graus a +71 graus)
• Capacidade de fluxo: Cv=0.09 (opção Cv=0.15)