Produto VIGOR Expresso|Chave de fluxo série VEFS2

Impulsionada pela inteligência artificial, pela computação de alto{0}}desempenho (HPC), pela eletrônica automotiva e pelos aplicativos da Internet das Coisas, a indústria de semicondutores está passando por uma rápida transformação. Este crescimento notável, no entanto, também introduziu novos desafios operacionais. À medida que as escalas de produção se expandem a um ritmo sem precedentes, gases especiais de alto risco, como o silano e a fosfina, são amplamente utilizados em fábricas de semicondutores. Qualquer vazamento descontrolado de gás causado por ruptura de tubulação, conexões soltas, falha de vedação ou instalação inadequada pode rapidamente se transformar em um grave incidente de segurança, ameaçando a segurança do pessoal, danificando equipamentos críticos de produção e causando dispendiosos tempos de inatividade não planejados. Neste contexto, o interruptor de fluxo excessivo (EFS) da VIGOUR, com seu projeto de atuação puramente mecânico e excepcional compatibilidade com ultra-alta-pureza (UHP), tornou-se uma proteção de segurança indispensável para sistemas de fornecimento de gases especiais, incluindo gabinetes de gás e VMBs, em linhas de fabricação de semicondutores em todo o mundo.

O princípio central do design do VIGOR EFS é detectar condições anormais de fluxo e responder de forma confiável. Quando uma falha no pipeline downstream resulta em um aumento repentino e excessivo de fluxo que excede o ponto de disparo crítico predefinido, o dispositivo aciona imediatamente um sinal de resposta. Esse sinal é transmitido através da abertura ou fechamento de contatos elétricos no reed switch integrado-, que é então sincronizado e enviado ao sistema SCADA ou ao Sistema de Monitoramento de Gás (GMS). Ao fornecer alertas-em tempo real e permitir respostas automatizadas rápidas, ele oferece suporte ao gerenciamento proativo de segurança, mitiga efetivamente riscos potenciais e fortalece a confiabilidade geral da rede de distribuição de gás.

Nos processos de fabricação de semicondutores, cada componente do sistema de gás pode se tornar uma fonte potencial de contaminação. Mesmo partículas minúsculas, impurezas metálicas ou adsorção superficial podem comprometer a qualidade do wafer e reduzir o rendimento da produção. Portanto, a VIGOR segue rigorosamente os rigorosos padrões da indústria de semicondutores para garantir a pureza do material, a limpeza da superfície e a estabilidade operacional.

Em termos de padrões de materiais, a VIGOR utiliza exclusivamente aço inoxidável 316L produzido através da tecnologia de dupla-fusão VIM/VAR. Este processo metalúrgico avançado reduz significativamente as inclusões metálicas e impurezas residuais, garantindo excelente resistência à corrosão e minimizando o risco de contaminação por gases. Para tratamento de superfície, todos os produtos passam por eletropolimento avançado (EP), mantendo uma rugosidade superficial interna de 5–10 μin. Um interior tão liso e limpo evita que as moléculas de gás sejam adsorvidas nas paredes internas e elimina a precipitação de partículas, proporcionando um fornecimento de gás estável-livre de contaminação.

Além disso, o VIGOR EFS oferece uma ampla seleção de pontos críticos de disparo e opções de configuração flexíveis para atender diversos cenários de aplicação. Através da simples correspondência de parâmetros, os usuários podem determinar facilmente o modelo preciso com base em tipos específicos de gás, condições de pressão operacional e taxas de fluxo máximas permitidas. Esse alto grau de personalização garante proteção precisa e confiável contra{2}}sobrefluxo para diversas aplicações de gás de pureza ultra-alta-na fabricação moderna de semicondutores.

  Chave de fluxo para aplicações de alto fluxo

 Disponível com linha principal horizontal ou vertical

 Queda mínima de pressão através do dispositivo

 Aço inoxidável SS 316L